21世纪经济报道记者倪雨晴 无锡、深圳报道


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随着国内半导体产业链布局深入,上游设备的关注度快速上升。今年半导体设备的业内盛会,不论从规模还是热度都更胜往年。

近日,在2023年中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛上,参展企业数量较上届翻了2.7倍,展示面积则为上届的3.5倍。

现场,设备厂商、上下游企业、投资人、分析师等汇聚一堂,多位与会者向记者感慨,今年展会的规模超出以往,未预料到细分领域的半导体设备也吸引如此多的参与者。

展会增长的数据从侧面反映,中国半导体设备厂商的队伍正在逐步壮大,市场需求不断增加。中国电子专用设备工业协会理事长、北方华创科技集团股份有限公司董事长赵晋荣谈道,半导体设备是支撑电子行业发展的基石,中国半导体市场在过去11年来也规模化持续发展。尤其是近年来在日益复杂的国际形势下,本土设备业更是取得了突破性的进步。

但是设备产业依然挑战重重。中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼首席执行官尹志尧表示,半导体设备要超前半导体制造3~5年开发新一代产品,虽然我国半导体设备经过不断努力,已经取得了长足的进步,但外国设备仍占国内设备采购的85%左右。

多位半导体投资者则向21世纪经济报道记者表示,近两年半导体设备和材料都是重点赛道,但是国产化依然任重道远。

产业快速发展

近年来国内半导体产业一直面临着外部的打压,近期美国又在投资领域进行限制。

对此,尹志尧总结认为,这一新政可以算是美国的“第十六招”,“目的是限制我们的集成电路和国外至少5代的差距。”

严峻的环境叠加国内市场的推动,国内的半导体设备产业加速前行。据中国电子专用设备工业协会对中国大陆77家主要半导体设备制造公司(年销售收入1000万元以上)的统计,2022年中国半导体设备的销售收入完成了593.0亿元,同比增长53.6%;半导体设备出口交货值70.8亿元,同比增长119.2%;总利润达到149.5亿元,同比增长66.1%。

其中,2022年前十家设备制造商完成销售收入438亿元,占77家合计收入73.9%。目前我国半导体设备及零部件企业的数量也已经超过200家。

拉长时间段看,从2019年到2022年,中国半导体设备销售收入从175.1亿元增长到593亿元人民币,年均增长率达到了48.3%。细分赛道中,集成电路设备销售收入2022年达到319亿元,同比增长86.1%,是所有赛道中增长速度最快,也是实现销售收入最多的市场;同时集成电路设备也是出口交货值最大的赛道。

中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠表示,在海外政策持续升级对华半导体管制背景下,下游用户担心未来断供等风险,使用国产设备的意愿更加强烈,进一步推动了国产设备发展,同时,核心部件替代进口也加快了设备产业化进程,设备核心部件国内供应链正在形成并得到快速发展。

根据协会统计,以销售额为统计口径,2022年国产半导体设备在中国市场占有率为23%,同比增长3.4个百分点;同时,在国产设备市场占有率提升背景下,海关数据显示,去年主要半导体设备中国进口额同比减少8.1%。其中,等离子体干法刻蚀机、化学气相沉积设备(CVD)以及氧化、扩散、退火及其他热处理炉进口规模位居前三,分别同比减少12.7%、11.9%和9.6%。

“预计2023年中国半导体设备进口额会继续减少。”金存忠介绍,海关统计数据显示,今年上半年中国主要半导体设备进口额为72.94亿美元,同比减少13.3%。除分步重复光刻机、集成电路工厂专用自动搬运机器人、研磨机和切割设备外,其余设备全部负增长,等离子体干法刻蚀机上半年进口额甚至同比减少近三成。

相比设备进口额预降,国产主要半导体设备制造商订单有望稳步增长。据协会预测,2023年国产半导体设备销售收入增长38%左右,将达到817亿元。其中,集成电路设备预计增长40%,达到450亿元;其次第二大细分板块太阳能电池片设备预计增长35%,达到310亿元。

突破与挑战

一方面,国内设备厂商正不断崛起,包括北方华创、盛美半导体、中微公司、上海微电子装备等半导体设备龙头企业。

即使当前半导体产业处于低潮期,多家上市的设备公司仍逆势增长。盛美上海公告显示,2023年上半年公司实现净利润约4.39亿元,同比增长85.74%;北方华创预计今年上半年实现归母净利润16.7亿元~19.3亿元,同比增长121.30%~155.76%;中微公司预计今年半年度实现归母净利润9.8亿元~10.3亿元,同比增加109.49%~120.18%。

增长的背后是各公司在多个赛道进行了突破。赵晋荣指出,过去几年,国内多家龙头骨干装备企业在刻蚀、薄膜、清洗、注入、CMP及封装测试等关键设备方面取得了突破。本土从事材料零部件的龙头企业也呈现出快速增长的趋势,在射频电源、流量计、机械手、真空泵、重点检测及精密加工精密陶瓷、精密石英、高纯石墨、高纯板材、特种不锈钢及精细化工材料等方面都取得了突破性的进展。

另一方面,国内半导体设备的成长还要面对重重挑战。产业周期层面,多位业内人士向21世纪经济报道记者指出,当前在半导体周期底部,一些中下游制造企业在缩减资本开支,所以接下来对于硬件设备的需求会带来一定的影响。

在产业化方面,中国电子专用设备工业协会副秘书长、积塔半导体(上海)有限公司总工程师李晋湘表示,半导体设备的研发和大规模生产应用完全不同,其中良率至关重要,如果没有95%以上的良率,成本就不能降下来。

具体到国内的情况,李晋湘指出,我国半导体设备厂商正面临三个挑战:一是缺乏某类设备,不能形成体系化生产流程;二是设备齐全,但特殊工艺要求无法满足;三是设备和工艺虽然完善,但关键工艺不稳定、不可靠。

同时,他还提到一个痛点,即一些需求量少难度大的设备,国内设备厂家不愿意做。虽然从经济和技术难度上考量,设备厂商不做无可厚非,“但是竞争对手在打包卖设备,把量少难度大和量大简单的设备绑在一起,也会对国产设备产生影响,如果不解决这个问题,量大容易做的设备也会被挤掉。”李晋湘说道。

此外,尹志尧还提到了竞争层面的问题,在他看来,恶性竞争的内卷是产业发展的绊脚石。比如用各种方式非法获得竞争者的商业机密;企业买了供应厂商的设备,自己也开发设备,利用便利抄袭;不靠产品技术的先进性,而是靠降低价格,甚至降到成本价以下,不惜亏本竞争;盲目重复的投资造成了内卷和低成功率等等。

所以他建议需要政府和行业制定一些公平竞争的法则和规范,降低内耗,防止恶性竞争来促进产业的健康发展。

最后展望未来,对于2023年的国内半导体设备,中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠介绍了三个趋势:2023年国产半导体设备销售有望继续保持增长;2023年中国大陆半导体设备进口继续减少;主要半导体设备制造商订单稳步增长。

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