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ASML去年宣布在台湾扩大投资，计划在林口建厂，第一期投资金额达300亿新台币，约2000名员工入驻。不仅如此，ASML去年还向台“经济部”提交申请，提出了针对2纳米晶圆光学测量设备的研发补助方案，经济部已经受理审查，根据规定，一旦通过审查，政府补助比例不会超过50%。台“经济部”的“A+企业创新研发淬炼计划”旨在补助企业进行创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约20亿新台币（备注：当前约4.5亿元人民币），该计划吸引了国际大厂来台研发生产，并帮助该地区企业打入前端设备的供应链。